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サービス・製品
真空配管部品
真空ポンプ
真空計測機器
真空バルブ
サンプル駆動機構
  • 真空配管部品

    真空配管部品

    各種規格の真空配管部品です。
    ●ISO-KF(NW)
     真空配管部品
    ●ISO-LF真空配管部品
    ●ICFフランジ
    ●ICF配管部品
    ●ビューポート

  • 真空ポンプ

    真空ポンプ

    低真空から超高真空までの真空ポンプです。
    ●ロータリーポンプ
    ●ダイアフラムポンプ
    ●スクロールポンプ
    ●ルーツポンプ
    ●ターボ分子ポンプ
    ●イオンポンプ
    ●チタンサブリメー
     ションポンプ
    ●NEGポンプ
    ●油拡散ポンプ

  • 真空計側機器

    真空計側機器

    チャンバー内の真空計測用機器です。

    ●真空計
     低真空から高真空までの
     各種真空計です。

    ●四重極型質量分析計

  • 真空バルブ

    真空バルブ

    ICF及びISO-KFの各種真空バルブです。
    ●アングルバルブ
    ●インラインバルブ
    ●オールメタルアングル
     バルブ
    ●バリアブルリークバルブ

  • サンプル駆動機構

    サンプル駆動機構

    サンプル導入用の各種駆動機構です。
    ●回転導入機
    ●直線導入機
    ●中空型回転導入機
    ●中空型回転導入機
    ●トランスファーロッド
    ●ウォーブルスティック

電流導入端子
真空部品
真空装置
その他
真空ポンプ修理
  • 電流導入端子

    電流導入端子

    真空内に電流を導入する各種フィードスルーです。
    ●マルチピンフィード
     スルー
    ●パワーフィードスルー
    ●同軸フィードスルー
    ●熱電対フィードスルー

  • 真空部品

    真空部品

    各種真空部品です。
    ●トールシール
    ●バックシール
    ●表面分析用
     コンポーネント
    ●蒸着用
     コンポーネント

  • 真空装置

    真空装置

    真空装置の製作例です。

  • その他

    その他

    ●チャンバー照射用
     LEDライト
    ●システムラック
    ●フレームラック
    ●オープンラック
    ●グローブボックス

  • 真空ポンプ修理

    真空ポンプ修理

    各種真空ポンプの修理承ります。
    ●ロータリーポンプ
    ●ドライポンプ
    ●ターボ分子ポンプ
    ●油拡散ポンプ
    ●イオンポンプ